Преглед производа
Прилагођене мете за распршивање титанијума служе као изворни материјал високе{0}}чистоће за системе физичког таложења паром (ПВД). Конструисане за апликације полупроводника, оптичких и-отпорних на хабање, ове мете се обрађују вакуумским индукционим топљењем или металургијом праха, након чега следи више-термо{4}}проходна термо{4}}механичка обрада да би се постигле фине, равноосне структуре зрна. Доступан у равним (правоугаоним, кружним) и ротирајућим конфигурацијама, упарен са бакарним или алуминијумским позадинским плочама преко металног везивања.
Техничке спецификације
|
Параметар |
Спецификација Опсег |
Метод тестирања и визуелна референца |
|
Чистоћа материјала |
99,9% (3Н) до 99,995% (4Н5) |
ГДМС (масена спектрометрија светлећег пражњења) • Погледајте узорак сертификата о ГДМС тесту: [Преузми ПДФ / Погледај извештај] |
|
Густина |
>= 4.50 g/cm^3 (>99,5% теоретски) |
Архимедова метода потапања |
|
Просечна величина зрна |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
ЕБСД / Металографски микроскоп • Погледајте слику микроскопске структуре зрна: [Инспецт СЕМ Мицрограпх] |
|
Димензије |
Пречник до 400 мм (планарни); Дужина до 3500 мм (ротирајући) |
ЦММ ласерски скенер |
|
Бацкинг Плате |
ОФХЦ бакар, титанијум степена 2, легуре алуминијума |
Ултразвучно испитивање за однос празнина везе |
|
Интегритет везивања |
>95% покривености површине лепљења |
Ултразвучно Ц{0}}скенирање • Прегледајте мапу грешака Ц-скенирања: [Инспецт Ултрасониц Сцан] |
Кључне карактеристике
Униформна микроструктура:Контролисани термомеханички путеви елиминишу локализоване тврде тачке, минимизирајући стварање лука и стварање честица током ДЦ или РФ распршивања велике снаге.
Ниске нечистоће гаса:Интерстицијски елементи (кисеоник, азот, угљеник, водоник) се строго контролишу испод 500 ппм да би се спречило кртљење филма и скокови електричне отпорности.
Поуздан термички интерфејс:Везивање од индија, еластомера или сребра{0}}епоксида обезбеђује високу топлотну проводљивост, спречавајући савијање и пуцање циља под високим топлотним флуксом.
Прецизне толеранције обраде:ЦНЦ глодање обезбеђује чврсте толеранције равности (+/- 0.05 мм) и безбедно постављање катоде.
Апликације
Полупроводници и микроелектроника:ПВД таложење баријерних слојева, контактних метала и семена међусобног повезивања на силицијумске плочице.
Оптички премази:Анти-премази против рефлексије (АР), слојеви филтера и архитектонско ниско{1}}е наношење стакла путем магнетронског распршивања.
Отпоран на хабање{0}} и декоративни:ТиН, ТиАлН и ТиЦН тврди премази за алате за сечење, медицинске имплантате и хардвер за потрошачку електронику.
Истраживање и развој:Прилагођене композиције легура и прилагођене величине зрна за универзитетске и корпоративне лабораторије танког филма{0}}.
Прилагођавање и производња
Мете се праве директно из ЦАД датотека корисника и специфичних геометрија коморе.
Топљење и формирање:Вакуумско индукционо топљење (ВИМ) упарено са вакуумским индукционим топљењем (ВАР) обезбеђује ниску сегрегацију. Накнадно топло ковање и ваљање се разлажу као-ливени дендрити.
Могућности обраде:ЦНЦ глодање са више-оси, стругање на стругу и ЕДМ жица обрађују сложене геометрије, навојне канале за хлађење и специфичне ивице.
Интеграција подлоге:-Унутарњи објекти за лепљење користе опрему за вакуумско лемљење и пресовање за спајање циљних плочица са бакарним или алуминијумским подложним цевима, верификованим деструктивним тестовима смицања и ултразвучним скенирањем.
Контрола квалитета и сертификати
Свака производна серија пролази ригорозну инспекцију пре паковања.
Аналитичко тестирање:ГДМС извештаји о анализи се испоручују са сваком серијом ради верификације нивоа металних и међупросторних нечистоћа.
Не-тестирање без разарања (НДТ):100% ултразвучна Ц-инспекција скенирања на спојеним склоповима открива унутрашње раслојавање или шупљине до пречника 2 мм.
Верификација димензија:Ласерска ЦММ инспекција бележи критичне монтажне димензије и равност површине.
Усклађеност са стандардима:Произведено према ИСО 9001:2015 системима управљања квалитетом.
Паковање и достава
Вакуумско заптивање:Мете се чисте, суше и херметички затварају у анти-статичким вакум кесама унутар чисте собе класе 10.000.
Заштитни јастук:Упаковано у прилагођену-изливену-пену од полиетилена високе густине (ХДПЕ) и робусне дрвене сандуке за спречавање површинских огреботина, ломљења ивица и удара у транспорту.
Документација за отпрему:Свака пошиљка укључује сертификат о анализи (ЦОА), безбедносни лист материјала (МСДС) и извештај о инспекцији димензија.
ФАК
П: Која је максимална чистоћа доступна за мете за распршивање титанијума?
О: Стандардна производња достиже чистоћу од 99,995% (4Н5). Специфичне класе за апликације полупроводника се подвргавају контролисаној редукцији гаса да би се одржао ниво кисеоника испод 300 ппм.
П: Како спречити стварање лука током{0}}прскања велике снаге?
О: Лучење се ублажава одржавањем фине, уједначене величине зрна (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
П: Које је стандардно време обраде за прилагођене димензије?
О: Стандардне планарне мете се испоручују за 2 до 3 недеље. Прилагођене ротирајуће мете или склопови који захтевају специјализоване подлоге и лепљење обично трају 4 до 6 недеља.
П: Можете ли да испоручите циљеве унапред{0}}везане за бакарне позадинске плоче?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >95% покрића обвезницама.
П: Који подаци су укључени у Извештај о испитивању материјала (МТР)?
О: Свака пошиљка укључује ГДМС анализу хемијских нечистоћа, мерења густине, податке о дистрибуцији величине зрна и мапе ултразвучне контроле везивања.
П: Да ли потписујете{0}}Уговоре о неоткривању (НДА) за власничке циљне дизајне?
О: Да. Прилагођени цртежи, власнички односи легуре и специфични дизајн катодног интерфејса су заштићени стандардним корпоративним НДА пре техничког прегледа.
Затражите понуду
Наведите своје циљне димензије, степен чистоће, количину и захтеве за носећу плочу да бисте добили званичну техничку понуду и процену времена испоруке у року од 24 сата.
[Пошаљи РФК / отпреми цртеже]
Popularne oznake: прилагођене мете за прскање титанијума, произвођачи, добављачи, фабрика у Кини прилагођени циљеви за прскање титанијума

