Преглед производа
Титанијумске мете за распршивање су потрошни материјали високе -чистоће који се користе у системима за физичко таложење паром (ПВД) за таложење танких филмова од титанијума или титанијум{1}}сложених филмова на подлоге. Конструисани за уједначене стопе распршивања и минимално стварање дефеката, наши циљеви подржавају магнетронско распршивање велике-импулсе (ХИПИМС) и ДЦ/РФ магнетронске поставке преко полупроводничких, оптичких и декоративних линија за премазивање.
Техничке спецификације
|
Параметар |
Спецификација Опсег |
|
Чистоћа материјала |
99,9% (3Н) до 99,999% (5Н) |
|
Стандард Градес |
АСТМ Б348 Граде 1 / Граде 2 (ЦП Ти), легуре титанијума (нпр. ТиАл, ТиСи) |
|
Густина |
>= 4.51 g/cm3 (>99,5% теоријске густине, мерено Архимедовим принципом) |
|
Просечна величина зрна |
< 100 um (fine, equiaxed microstructure) |
|
Димензије (планарне) |
Дужина до 3000 мм, ширина до 800 мм, дебљина 3-25 мм |
|
Димензије (ротирајуће) |
Спољни пречник до 400 мм, дужина до 4000 мм |
|
Бацкинг Плате |
ОФХЦ бакар (Ц10200 / Ц11000) или алуминијум (6061) |
|
Технологија лепљења |
Везивање индија, везивање еластомера или дифузионо везивање (стопа празнине < 1%) |
Кључне карактеристике
Фина микроструктура
Контролисана термо{0}}механичка обрада даје просечну величину зрна испод 100 ум, обезбеђујући уједначене профиле ерозије и спречавајући преференцијално прскање.
Контрола чистоће гаса
Процеси вакуумског индукционог топљења (ВИМ) и топљења електронским снопом (ЕБМ) држе нечистоће интерстицијалног гаса (О, Н, Х, Ц) стриктно минимизираним.
Везивање високе топлотне проводљивости
Везање дифузије или индијума на ОФХЦ бакарне позадинске плоче спречава савијање мете и прерано пуцање под плазмом велике густине{0}}.
Ниска генерација честица
Велика густина и одсуство унутрашњих микро{0}}празнина потискују стварање лука и формирање нодула током дугих циклуса премаза.
Апликације
Полупроводници и микроелектроника
Таложење слојева баријере, контактних слојева и међусобно повезаних слојева семена у производњи ИЦ.
Дисплеји са равним екраном (ОЛЕД/ЛЦД)
Формирање слојева проводљивих и пиксел{0}}погонских-танких филмских транзистора (ТФТ).
Оптицал Цоатингс
Анти-рефлективни (АР) премази, слојеви филтера и производња архитектонског ниско-Е стакла.
Тврди премази{0}}отпорни на хабање и декоративни премази
Таложење ТиН, ТиЦН и ТиАлН на алатима за сечење, аутомобилским компонентама и санитарном хардверу.
Рута производње:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Везивање.
Прилагођене могућности:Прилагођене геометрије (правоугаоне, кружне, сегментиране, ротирајуће), прилагођени дизајн канала за хлађење задње плоче и специфични захтеви за оријентацију зрна.
{0}}Кућна обрада:ЦНЦ глодање и стругање постижу толеранције димензија унутар +/- 0.1 мм и храпавост површине до Ра 0,4 ум.
Контрола квалитета и сертификати
Аналитичко тестирање
Масена спектрометрија усијаног пражњења (ГДМС) за анализу елемената у траговима; ЛЕЦО гасни анализатори за квантификацију кисеоника, азота и водоника.
Структурна инспекција
Ултразвучно тестирање (УТ) обављено на 100% спојених мета да би се потврдио интегритет везивања и откриле празнине у интерфејсу.
Следљивост
Сваки циљ се испоручује са сертификатом о анализи (ЦОА) са детаљима о чистоћи серије, разградњи нечистоћа у ппм и резултатима теста густине.
Паковање и достава
Паковање
Вакум{0}}запечаћене у анти-статичким полиетиленским кесама, упаковане са-пеном која апсорбује ударце унутар ојачаних дрвених сандука за извоз{3}}како би се спречила оксидација у транзиту и механичка оштећења.
Леад Тиме
2 до 3 недеље за стандардне планарне димензије; 4 до 6 недеља за прилагођене ротирајуће или дифузионо{4}}везане конфигурације.
Услови испоруке
ФОБ, ЦИФ или ДДП ваздушним или океанским транспортом.
ФАК
Затражите понуду
Да бисте добили технички предлог и понуду за ваш специфични систем таложења, наведите модел вашег ПВД система, потребну чистоћу, димензије и процењене количине. Наш инжењерски тим одговара у року од 24 радна сата са доступношћу материјала и распоредом испоруке.
Ми смо професионално прскање титанијума циљано на произвођаче и добављаче у Кини, специјализовани за пружање висококвалитетних прилагођених услуга. Слободно купите мете за распршивање титанијума са попустом на лагеру и узмите бесплатан узорак из наше фабрике. За консултације о цени, контактирајте нас.